关于微导纳米公司

公司成立于2015年12月。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED,及MEMS等泛半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域。公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商,研发生产的高端薄膜沉积设备广泛应用于半导体晶圆、光伏电池片生产的关键环节,薄膜性能直接影响半导体器件性能以及电池片的光电转换效率。公司产品主要包括iTomic系列原子层沉积镀膜系统、iTomicMW系列批量式原子层沉积镀膜系统、iTomicLite系列轻型原子层沉积镀膜系统、iTomicPE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统、iTronix系列化学气相沉积镀膜系统、Trancendor系列晶圆真空传输系统、夸父(KF)系列批量式ALD系统、祝融(ZR)系列管式PEALD/PECVD系统、羲和(XH)系列高温低压系统、后羿(HY)系列板式ALD系统、iSparol系列卷对卷ALD系统。企业荣誉:工信部专精特新小巨人企业、苏南国家自主创新示范区独角兽企业、江苏省小巨人企业(制造类)、“无锡市最佳聚才单位”“优秀雇主奖”、“高层次人才引进贡献奖”、荣获国家级知识产权优势企业、无锡市专利奖、无锡市知识产权战略推进项目、无锡市高新区(新吴区)知识产权强企培育企业等荣誉称号。